@InProceedings{SilvaBern:2019:DeEsBR,
author = "Silva, Ana Carolina Fernandes da and Berni, Luiz Angelo",
affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Desenvolvimento de espelho de BRAGG utilizando sil{\'{\i}}cio
poroso",
booktitle = "Anais...",
year = "2019",
editor = "Santos, Rafael Duarte Coelho Dos and Mattos, Ariane Frassoni Dos
Santos De and Mello, Carina Barros and Queiroz, Gilberto Ribeiro
De and Vasconcelos, Leandro Guarino De and Vieira, Luis Eduardo
Antunes and Forti, Maria Cristina and Gatto, Rubens Cruz",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
keywords = "silicio poroso.",
abstract = "Este trabalho, tem como objetivo o estudo das propriedades
{\'o}pticas e estruturais do sil{\'{\i}}cio poroso, levando em
considera{\c{c}}{\~a}o diversas condi{\c{c}}{\~o}es de ataque
eletroqu{\'{\i}}mico. Tamb{\'e}m possui como foco a
produ{\c{c}}{\~a}o de espelhos de Bragg para diferentes
comprimentos de onda, para analisar a sua degrada{\c{c}}{\~a}o e
a verifica{\c{c}}{\~a}o da viabilidade de se utilizar esses
espelhos de Bragg em sensores ambientais. Foram fabricadas
v{\'a}rias amostras de sil{\'{\i}}cio poroso, variando a
densidade de corrente de 10 a 200 mA/cm² e o tempo de ataque de 20
a 900 segundos. Utilizando a t{\'e}cnica de espectroscopia por
infiltra{\c{c}}{\~a}o de l{\'{\i}}quidos SLIM (Spectroscopy
Liquid Infiltration method), verificou-se que o {\'{\i}}ndice de
refra{\c{c}}{\~a}o variou entre 1,3 a 2,4 com uma
rela{\c{c}}{\~a}o inversamente proporcional {\`a} densidade de
corrente. A espessura apresentou um comportamento quase linear com
a densidade de corrente e a porosidade chegou aproximadamente a
80%. Essas amostras tamb{\'e}m foram caracterizadas no
microsc{\'o}pio eletr{\^o}nico de varredura (FEG), que confirmou
as medidas de espessura realizadas no SLIM al{\'e}m de fornecer
informa{\c{c}}{\~o}es sobre as estruturas do sil{\'{\i}}cio
poroso e dimens{\~o}es dos poros. Para esse estudo foram
sintetizadas 5 amostras de sil{\'{\i}}cio poroso a partir de
laminas de sil{\'{\i}}cio cristalino do tipo p (100) de baixa
resistividade (0,01 a 0,02 \Ω.cm) em solu{\c{c}}{\~a}o de
{\'a}cido fluor{\'{\i}}drico (HF). Tr{\^e}s amostras foram
armazenadas em meios diferentes ({\'a}lcool et{\'{\i}}lico, ar
e v{\'a}cuo) e semanalmente medidas no SLIM para acompanhar a
degrada{\c{c}}{\~a}o. A amostra de n{\'u}mero quatro foi
destinada {\`a} caracteriza{\c{c}}{\~a}o via microscopia
eletr{\^o}nica (FEG), que apresentou di{\^a}metro m{\'e}dio dos
poros de 25,4 nm e pode-se confirmar a presen{\c{c}}a das
v{\'a}rias camadas. A {\'u}ltima amostra foi designada para
testes em 10 l{\'{\i}}quidos diferentes infiltrados no espelho
de Bragg para verificar o comportamento da reflet{\^a}ncia em
diferentes meio.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
conference-year = "12-13 ago. 2019",
language = "pt",
organisation = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
ibi = "8JMKD3MGPDW34R/3U47GB5",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/3U47GB5",
targetfile = "2019 Ana Carolina Fernandes da Silva.pdf",
type = "ETE",
urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}